반도체 산업이 고도화됨에 따라 극저온 및 고온 환경에서 안정적인 공정 운영과 수율 확보가 핵심 과제로 떠오르고 있다. 특히 공정 장비의 온도를 일정하게 유지하는 ‘Thermal Loop(열 순환 시스템)’의 설계와 관리가 전체 생산 효율과 품질에 직접적인 영향을 미치면서 중요성이 크게 부각되고 있다.

글로벌 유체 시스템 전문 기업 스웨즈락 코리아는 오는 2월 11일부터 13일까지 서울 코엑스에서 열리는 ‘세미콘 코리아 2026(SEMICON Korea 2026)’에 참가해 극저온 환경에서도 결로를 최소화하고 공정 안정성과 에너지 효율을 동시에 달성할 수 있는 Thermal Loop 솔루션을 선보인다.

Thermal Loop는 칠러, 열교환기, 펌프, 밸브, 피팅 등 여러 구성 요소로 이루어지며, 서브 팹에서 메인 팹까지 열 전달 유체를 안정적으로 순환시키는 역할을 한다. 단열 부족이나 부적절한 배관 설계는 결로와 설비 가동 중단을 유발할 수 있으며, 이는 공정 편차 확대와 생산성 저하로 이어진다. 스웨즈락은 배관 간 최소 굴곡 반경, 직선 구간 확보 등 세부 설계 요소를 고려한 Thermal Loop 최적화를 통해 안정적 공정 운용과 에너지 절감 효과를 동시에 실현할 수 있음을 강조했다.

특히 극저온 공정에서는 기존 단열 소재의 한계를 넘어서는 기술이 요구된다. 스웨즈락은 진공 단열(Vacuum-Insulated) 호스를 활용해 열 전달을 최소화하고, 영하 80℃ 이하 환경에서도 안정적인 성능을 유지할 수 있는 솔루션을 제시할 예정이다. 이러한 접근은 첨단 ALD, ALE 등 극저온 공정이 확대되는 현장에서 공정 안정성과 생산성 확보에 핵심적인 역할을 한다.

세미콘 코리아 2026 현장에서 스웨즈락 코리아는 단순 제품 전시에 그치지 않고, 고객 현장의 과제를 분석하고 개선 방향을 제안하는 방식으로 Thermal Loop 설계와 운용 전략을 소개할 계획이다. 이를 통해 반도체 제조 전 주기에 걸친 유체 시스템 파트너로서의 역할을 강화한다는 방침이다.

스웨즈락 코리아 관계자는 “반도체 공정이 정밀해질수록 유체 시스템은 단순 부속이 아니라 공정 성능과 생산성을 결정하는 핵심 요소가 된다”며, “이번 전시를 통해 Thermal Loop 최적화를 통한 공정 안정성과 에너지 효율 개선 방향을 고객에게 제시할 것”이라고 말했다.

스웨즈락 코리아 소개
스웨즈락 코리아는 1984년 설립된 한국 내 공식 판매 및 서비스 센터로, 40년 이상 다양한 유체 시스템 솔루션과 교육 서비스를 제공하며 고객의 신뢰를 받아왔다. 광명 본사 내 솔루션 & 서비스 센터에서 유체 시스템 설계와 어셈블리 서비스를 제공하며 고객 과제를 정확히 이해하고 해결하는 데 주력하고 있다.